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3562* 半导体器件专用设备制造 生产专用光刻机(6英寸/8英寸/12英寸集成电路生产线所用) 3562005; 刻蚀机 3562006; 离子注入机 3562007; 退火设备 3562008; 单晶生长设备 3562009; 薄膜生长设备 3562010; 化学机械抛光设备 3562011; 封装设备 3562012; 测试设备 3562013; 3973 集成电路制造 该行业全部产品都算作战略性新兴产业产品 3973049;
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