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C3562半导体器件专用设备制造
依据《国民经济行业分类（GB/T4757-2017）》，指生产集成电路、二极管（含发光二极管）、三极管、太阳能电池片的设备的制造。
包括下列半导体器件专用设备制造活动：
半导体材料生产设备
半导体级硅单晶生长、晶片切割、磨抛、清洗设备；
发光二极管晶体生长、晶片切割、磨抛、清洗设备；
太阳能级硅单晶生长、多晶硅生长和硅片切割、清洗设备；
集成电路生产设备
集成电路晶圆（芯片）制造设备；
集成电路封装、测试设备；
半导体分立器件生产设备
二极管、三极管、大功率三极管（ＩＧＢＴ）芯片制造设备；
发光二极管（ＬＥＤ）芯片制造设备；
太阳能电池片专用设备
晶硅太阳能电池片制造设备；
薄膜太阳能电池片制造设备；
微机电系统（ＭＥＭＳ）生产设备。
下列产品制造活动列入本分类
集成电路生产线设备；
ＩＧＢＴ生产线设备；
ＬＥＤ生产线设备；
晶体生长及晶片制造加工设备；
生产专用光刻机（６英寸／８英寸／１２英寸集成电路生产线所用）；
刻蚀机；
离子注入机；
退火设备；
单晶生长设备；
薄膜生长设备；
化学机械抛光设备；
太阳能级多晶硅生产设备；
单晶硅拉制设备；
自动化集成芯片互联设备；
多线切割设备；
光伏电池封装材料；
感应耦合等离子体（ＩＣＰ）刻蚀机芯片；
有机发光二极管（ＯＬＥＤ）材料生产设备；
有机发光二极管（ＯＬＥＤ）器件生产设备；
有机发光二极管（ＯＬＥＤ）照明产品生产设备。
不包括：
真空获得设备制造，列入３４４１（泵及真空设备制造）；
通用设备制造，列入３４（通用设备制造业）相关行业类别中；
电子专用模具制造，列入３５２５（模具制造）。
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